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分体式微型气体质量流量计

分体式微型气体质量流量计,采用热扩散 MEMS 传感技术,传感器本体与数显控制单元分体式结构设计,专门针对小口径、微小流量气体精准计量开发。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2026-05-19
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产品详情

分体式微型气体质量流量计|多钦仪表(上海)有限公司选型推荐


一、产品实拍

分体式微型气体质量流量计


(配图:分体式微型气体质量流量计实物图,传感器与显示控制器分离,航空接头连接,螺纹管道接口)


二、产品概述

本款分体式微型热式气体质量流量计,采用热扩散 MEMS 传感技术,传感器本体与数显控制单元分体式结构设计,专门针对小口径、微小流量气体精准计量开发。
直接测量气体质量流量,无需温度、压力补偿,压损小、响应快、无可动部件,适配狭小安装空间、高温管路、震动工况;广泛用于实验室、半导体、医疗设备、精密化工、环保监测等微量气体流量测量与控制场景。



三、核心特点

  1. 分体式独立设计,安装灵活

    传感器与显示控制器分离,通过航空接头线缆连接,数显单元可壁挂安装,远离高温、潮湿、震动管路区域,方便远距离查看与调试。

  2. MEMS 高精度传感,微小流量灵敏

    核心采用微机电热式传感芯片,测量精度高、重复性好,量程比宽,可精准测量超低流速气体。

  3. 质量流量直测,免温压补偿

    直接输出质量流量值,不受温度、压力波动影响,测量稳定可靠。

  4. 结构坚固,耐工况

    传感器整体 304 不锈钢材质,螺纹接口,密封性强,抗震动、抗干扰,长期运行稳定。

  5. 多信号输出,易对接系统

    支持 4?20mA、RS485?Modbus?RTU、脉冲信号,可直接接入 PLC、DCS、工控系统、物联网平台。

  6. 智能数显,操作便捷

    分体控制器带高清 LCD 显示屏,可显示瞬时流量、累计流量、介质温度,支持参数设置、清零、单位切换。


四、详细技术参数

1. 测量参数

  • 测量原理:热扩散式(MEMS 微机电传感)

  • 测量介质:空气、氮气、氧气、氩气、二氧化碳、甲烷、压缩空气等干燥洁净气体

  • 公称通径:DN10、DN15、DN20(可定制小口径 DN4/DN6/DN8)

  • 流量量程:0–10/20/50/100 SLPM(可定制微量 0.01SLPM 起量程)

  • 测量精度:±1.5% FS

  • 重复性:≤±0.75% FS

  • 量程比:100:1

  • 响应时间:≤100ms


2. 电气参数

  • 供电电源:DC 12–24V

  • 输出信号:4?20mA、RS485 (Modbus?RTU)、脉冲输出

  • 显示方式:分体 LCD 液晶显示(瞬时流量、累计流量、温度、故障报警)

  • 通讯线缆:标配 2–5m(可定制加长),航空插头快插连接

  • 防护等级:传感器 IP65,控制器 IP54


3. 机械与环境参数

  • 传感器材质:304 不锈钢(可选 316L 防腐)

  • 连接方式:外螺纹(G1/2、G3/4 等,可定制)

  • 工作压力:≤1.6MPa

  • 介质温度:?20℃~+80℃

  • 环境温度:?10℃~+60℃

  • 适用湿度:≤95% RH(无凝露)


五、工作原理

基于热扩散原理:传感器内置加热元件与测温元件,对气体进行微加热;气体流动带走热量,通过检测上下游温差变化,换算出气体质量流量。
直接测质量流量,无需温压补偿,不受气体压力、温度变化干扰。


六、典型应用场景

  1. 科研实验室:气体配比、微量供气、实验气体流量监测

  2. 半导体 / 光伏:?;て?、吹扫气、工艺气体精准计量

  3. 医疗行业:制氧机、呼吸机、医用气体流量控制

  4. 精密化工:反应釜微量气体进料、惰性气体?;?/span>

  5. 环保监测:烟气微量排放、废气采样流量测量

  6. 工业自动化:小型燃烧设备、气体检漏、压缩空气节能管控


七、安装说明

  1. 传感器水平或垂直安装,气流方向与壳体标识一致;

  2. 上下游预留≥5 倍管径直管段,避开弯头、阀门、接头干扰;

  3. 分体控制器安装在便于操作、远离高温潮湿区域,航空接头接线牢固;

  4. 线缆布线避开强电磁干扰源,供电稳定,接地良好。


八、选型须知

  1. 确认气体介质、腐蚀性,选择 304/316L 材质;

  2. 确定公称通径、螺纹规格、流量量程

  3. 选择输出信号:常规 4?20mA,远程通讯选 RS485;

  4. 确认线缆长度、供电电压、是否需要防爆定制。


九、售后保障

  • 质保周期:整机质保 2 年(非人为损坏)

  • 技术支持:免费提供技术选型、方案设计、参数调试、安装指导

  • 定制服务:特殊量程、防爆、防腐、加长线缆均可定制

  • 配套服务:量大可提供上门勘测、现场调试服务

  • 参考价格:详情咨询厂家(可根据工况定制报价)


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