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DN15高精密阀控气体质量流量计

DN15高精密阀控气体质量流量计,采用 MEMS 热式质量流量芯片,集流量测量、闭环控制、电动调节阀于一体,专为 DN15 工业管路、精密供气、气体配比等场景设计。无需温度压力补偿,直接输出质量流量,响应快、稳定性强,可实现全自动流量恒定控制,广泛用于半导体、实验室、医疗、新能源、工业自动化等领域。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2026-05-21
  • 访  问  量:1215
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产品详情

DN15高精密阀控气体质量流量计(DN15)产品详情页

DN15 阀控一体式 | 高精度 MEMS 热式质量流量控制


一、核心卖点

DN15 标准口径,工业管路直接安装

阀控一体:测量 + PID 闭环控制 + 电磁阀调节

超高精度:±0.5% FS,重复性 ±0.1% FS

MEMS 热式传感,无需温压补偿

LCD 显示 + 按键本地设置

4?20mA + RS485 (Modbus) 双输出

适用多种清洁气体,出厂标定

小流量到大流量稳定控制



二、产品简介

本款DN15高精密阀控气体质量流量计,采用 MEMS 热式质量流量芯片,集流量测量、闭环控制、电动调节阀于一体,专为 DN15 工业管路、精密供气、气体配比等场景设计。无需温度压力补偿,直接输出质量流量,响应快、稳定性强,可实现全自动流量恒定控制,广泛用于半导体、实验室、医疗、新能源、工业自动化等领域。




三、核心技术参数

项目指标
公称通径DN15
测量原理MEMS 热式气体质量流量
控制方式内置电磁阀 + PID 闭环自动控制
测量精度±0.5%FS
控制精度±1.0%FS
重复性±0.1%FS
量程比1:100
响应时间≤50ms
流量量程0~1000 NL/min(可定制)
最小分辨率0.1 NL/min
工作电源DC24V / 2.5W
介质温度-10℃ ~ +55℃
工作压力≤1.5MPa(可定制 3MPa)
输出信号4-20mA / RS485 Modbus RTU
接口形式G1/2、PT1/2 内螺纹(标准)
阀体材质不锈钢 304 / 316L
显示LCD:瞬时流量 + 累计流量
适用气体Air、N?、O?、Ar、CO?、H?、He、CH? 等
防护等级IP40
安装方式水平 / 垂直均可



四、产品优势

1. 超高精度,控制更稳

  • MEMS 芯片,零点稳定、长期不漂移

  • 闭环 PID 自动调节,上游压力波动也能稳流

  • 精度达 **±0.5% FS**,满足精密工况

2. 阀控一体,省去外接阀门

  • 流量计 + 控制阀集成一体

  • 减少泄漏点,安装更简单

  • 一套设备实现:测流量 → 控流量 → 发信号

3. DN15 工业标准口径,即装即用

  • 标准 G1/2 螺纹,适配绝大多数工业气路

  • 无需变径、不用改装,直接接入管路

  • 水平 / 垂直安装都能用

4. 信号齐全,接入系统超方便

  • 4?20mA 模拟量 → PLC / 仪表直连

  • RS485 (Modbus) → 上位机 / 触摸屏组网

  • 本地 LCD 显示,不用电脑也能调试

5. 多气体兼容,一机多用

  • 支持空气、氮气、氧气、氩气、氢气、氦气等

  • 出厂精准标定,通电即可使用

  • 可自定义介质密度与仪表系数


五、功能介绍

  • 瞬时流量 + 累计流量双显示

  • 本地按键设置:量程、单位、报警、系数、通讯参数

  • PID 自动控制:流量稳定在设定值

  • 4?20mA/RS485 双输出

  • 小信号切除、阻尼调节、报警输出

  • 累计量一键清零


六、安装要求

  • 建议控制阀装在流量计下游

  • 保留前直管段≥5D,后直管段≥3D

  • 介质流向与阀体箭头一致

  • 禁止超量程、超压使用


七、应用场景

  • 半导体 / 电子制程供气

  • 实验室精密气体配比、微反应控制

  • 新能源:锂电池、燃料电池供气

  • 工业气体混合、燃烧控制

  • 泄漏检测、腔体吹扫、载气控制


八、质保服务

  • 2 周质量问题免费换新

  • 1 年免费保修

  • 提供选型、接线、调试全程技术支持

  • 可定制:量程、气体、接口、高压、防腐


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