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氮气用质量流量计

氮气用质量流量计,基于热扩散原理,专为干燥洁净氮气、高纯氮气、微量 / 小流量氮气设计,直接测量质量流量(Nm³/h/kg/h),无需温压补偿,不受温度、压力波动影响,是低压、小流量、高纯氮气计量的常用仪表。广泛应用半导体、电子、制药、食品、冶金、实验室等行业的氮气保护、供气配比、充装及能耗精准计量。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2026-05-21
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产品详情

氮气用质量流量计(热式气体质量流量计)多钦仪表(上海)有限公司选型推荐


一、产品概述

氮气专用热式气体质量流量计,基于热扩散原理,专为干燥洁净氮气、高纯氮气、微量 / 小流量氮气设计,直接测量质量流量(Nm3/h/kg/h),无需温压补偿,不受温度、压力波动影响,是低压、小流量、高纯氮气计量的常用仪表。广泛应用半导体、电子、制药、食品、冶金、实验室等行业的氮气?;?、供气配比、充装及能耗精准计量。


二、测量原理

采用恒温差热扩散技术,传感器含两个铂电阻(RTD):
  • 速度传感器:加热至高于介质温度的恒定温差;

  • 温度传感器:实时感应氮气温度,自动补偿。

    氮气流过传感器时带走热量,维持温差所需加热功率与氮气质量流量成正比,直接换算标方流量,无需温压补偿。


三、核心优势(氮气适配专属)

  1. 直接质量流量:无需温压补偿,直接输出 Nm3/h,适配氮气压力 / 温度波动工况;

  2. 超高量程比100:1,可测0.05m/s低流速,微小氮气流量灵敏稳定;

  3. 无压损 / 低阻力:插入式 / 管段式设计,接近零压力损失,适配低压氮气管道;

  4. 高纯氮适配:316L 不锈钢材质,无吸附、无污染,满足半导体 / 制药高纯氮要求;

  5. 免维护:无可动部件,无磨损、无卡涩,长期稳定,年均维护成本低;

  6. 响应快:响应时间<1 秒,适配氮气配比、动态流量控制场景。


四、技术参数(氮气专用标定)

  • 精度等级:管道式 ±0.5%~±1.0% FS;插入式 ±1.0%~±1.5% FS;

  • 公称口径:DN4~DN200(管道式);DN200~DN1000(插入式);

  • 流量范围:0.01~1000Nm3/h(氮气标况:20℃/101.33kPa);

  • 介质温度:-20℃~+80℃(常规);可定制 - 40℃~+150℃高温款;

  • 工作压力:0~1.6MPa(常规);最高可定制 40MPa 高压款;

  • 材质:接液 304/316L 不锈钢;外壳铝合金 / 不锈钢;

  • 输出信号:4-20mA、RS485(Modbus)、HART、脉冲、液晶就地显示;

  • 供电:24VDC 外供电;可选 3.6V 锂电池(续航 2~5 年);

  • 防爆等级:Ex d Ⅱ BT4、Ex ia Ⅱ BT6(适配防爆车间);

  • 重复性:±0.2% FS,长期计量稳定。

氮气用质量流量计


五、氮气典型应用场景

  1. 半导体 / 电子:高纯氮气(99.999%)输送、晶圆保护气、腔体吹扫;

  2. 制药 / 食品:氮气保鲜、无菌氮气供气、粉体输送?;て?;

  3. 冶金 / 热处理:炉内氮气保护、密封氮气、淬火氮气配比;

  4. 实验室 / 科研:微量氮气配比、气体分析仪供气、小流量精准控制;

  5. 空分 / 制氮:制氮机出口流量监测、氮气充装、能耗统计。


六、氮气用质量流量计选型指南(氮气工况匹配)

  • 微小 / 小流量(<10Nm3/h)、高纯氮:选DN4~DN50 管道式,精度 ±0.5%,适配实验室 / 半导体;

  • 中小流量(10~100Nm3/h)、工业氮:选DN50~DN200 管道式,性价比高,适配厂区供气;

  • 大口径(>DN200)、低压主管:选插入式,安装便捷、成本低,适配制氮机总管;

  • 防爆车间 / 危险区域:选隔爆 / 本安型,Ex d Ⅱ BT4,适配防爆氮气管道。


七、安装要点(氮气测量精准关键)

  1. 直管段:上游≥5DN、下游≥3DN,避免弯头、阀门等扰动;

  2. 安装方式:水平 / 垂直管道均可,传感器探头正对流向,避免气泡 / 杂质附着;

  3. 介质洁净:氮气需干燥洁净,无油、无水、无粉尘,防止传感器污染;

  4. 远离振动:避开泵、风机等强振动源,必要时加装减振支架;

  5. 环境:避免阳光直射、高温(>80℃)、潮湿(湿度<95%)环境。


八、通用配置与定制

  • 标准配置:316L 传感器、液晶显示、4-20mA+RS485、24VDC 供电;

  • 定制服务:高压(≤40MPa)、高温(≤150℃)、防爆、特殊口径、氮气专用标定、远程通讯(云端对接)。


九、售后保障

  • 质保期2 年(非人为损坏);

  • 技术服务:免费工况选型、参数匹配、安装指导、上门调试;

  • 校准服务:每年 1 次免费校准,高纯氮工况每半年 1 次;

  • 价格说明:以上为参考价,最终报价以氮气工况(口径、压力、流量、纯度)为准。

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