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微小流量控制型热式气体质量流量计

微小流量控制型热式气体质量流量计,是一款集热式质量流量测量、PID 闭环控制、电动调节阀执行于一体的智能测控设备。采用热扩散原理 + MEMS 流量传感芯片,直接测量气体质量流量,无需温压补偿;配套高精度电动调节阀,实现流量的自动调节与稳定控制。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2026-05-21
  • 访  问  量:1193
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产品详情

微小流量控制型热式气体质量流量计  多钦仪表(上海)有限公司选型推荐

专为气体精密测控与定量控制场景打造,集成热式质量流量测量 + 电动调节阀闭环控制,实现从流量监测到精准调节的一体化解决方案。


一、核心亮点|一眼看懂价值

? 测量 + 控制一体化:自带电动调节阀,实现流量闭环控制,无需额外阀门
? 微小流量精准适配:MEMS 传感芯片,支持 sccm~slm 级超小量程,无温漂、无压漂
? 自带本地显示与按键:瞬时 / 累计流量 + 设定值同屏显示,现场直接调试
? 全信号兼容:4-20mA/0-5V 模拟信号 + RS485 Modbus 数字通讯,PLC 直连
? PID 智能闭环算法:流量波动自动修正,控制精度可达 ±1.0% FS
? 标准螺纹接口:适配 DN8/DN15 管路,即装即用,无需复杂改造
? 防爆 / 防腐可选:支持衬四氟、防爆外壳,适配腐蚀性气体与危险工况
? 多气体标定:支持氮气、氧气、氩气、氢气、甲烷等多种介质,可定制标定


二、产品概述

微小流量控制型热式气体质量流量计,是一款集热式质量流量测量、PID 闭环控制、电动调节阀执行于一体的智能测控设备。采用热扩散原理 + MEMS 流量传感芯片,直接测量气体质量流量,无需温压补偿;配套高精度电动调节阀,实现流量的自动调节与稳定控制。
设备广泛应用于实验室气相配比、半导体制程供气、医疗设备流量控制、工业气体混合等场景,是传统 “流量计 + 手动阀 / 比例阀" 方案的理想升级替代。


三、技术参数|精准可信

参数项规格说明
测量原理热式质量流量(MEMS 传感)
控制方式PID 闭环控制 + 电动调节阀
测量精度±1.0%FS
控制精度±1.5%FS
重复性±0.2%FS
量程范围0.01sccm ~ 1000NL/min(可定制微小 / 大量程)
量程比1:100(部分型号可达 1:200)
介质温度-10~60℃(可扩展 - 20~120℃)
工作压力≤1.6MPa(可定制高压版)
工作电源DC24V ±10%
功耗≤8W
设定信号0-5V / 0-10V / 4-20mA / RS485 数字信号
反馈信号4-20mA / RS485 Modbus RTU
通讯协议Modbus RTU(标准),支持自定义协议
机械接口G1/4、G1/2、NPT1/4、NPT1/2(可定制)
阀体材质不锈钢 304/316L(可选衬四氟防腐)
防护等级IP65(可选防爆 Ex ia ⅡC T4 Ga)
适用气体空气、N?、O?、Ar、H?、He、CH?、CO?等清洁气体,腐蚀性气体可定制
预热时间3~5 分钟


四、核心优势|为什么选我们

1. 测量 + 控制一体化,省心高效

  • 流量计与调节阀集成设计,省去单独选型、安装阀门的步骤,减少泄漏点

  • PID 闭环算法自动修正流量波动,即使上游压力波动,出口流量依然稳定

  • 本地显示 + 按键调试,无需上位机即可设置目标流量、参数校准,现场调试效率更高

2. 微小流量测量更精准稳定

  • MEMS 微传感芯片,响应速度快、零点长期稳定,免频繁校准

  • 直接测量质量流量,不受介质温度、压力波动影响,测量误差更小

  • 超小量程覆盖,解决传统设备难以稳定测量的 sccm 级微量供气场景

3. 适配更多复杂工况

  • 不锈钢阀体 + 可选衬四氟防腐,适配弱腐蚀性气体(如氨气、硫化氢)

  • 可选防爆外壳与本安设计,满足化工、石化等危险区域使用要求

  • 支持高压定制,适配高压气瓶供气、高压反应釜吹扫等场景

4. 集成与维护更便捷

  • 标准螺纹接口,适配实验室、设备集成等多种安装场景

  • 支持多台组网控制,通过 RS485 实现多通道气体配比自动化

  • 关键部件采用进口电动调节阀芯,寿命长、维护成本低,支持故障自诊断


五、功能与操作|快速上手

1. 面板按键与显示

  • 显示界面:主界面显示瞬时流量、累计流量、目标设定值;参数界面显示介质、单位、通讯参数等

  • 按键功能

    • 设定键:修改目标流量值、切换控制模式(本地 / 远程)

    • 菜单键:进入参数设置界面(量程、单位、PID 参数、通讯地址)

    • 确认 / 退出键:保存设置或返回主界面

2. 通讯与控制配置

  • 默认通讯参数:9600bps,8 数据位,无校验,1 停止位(Modbus RTU)

  • 可配置项:设备地址、波特率、校验方式、流量单位(sccm/slm/NL/min)、标况温度、报警阈值

  • 控制模式:

    • 本地控制:通过面板按键直接设定目标流量,调节阀自动调节

    • 远程控制:通过模拟量信号或 RS485 数字信号设定目标流量,实现上位机 / PLC 自动化控制

3. 安装与接线说明

  • 安装方式:水平 / 垂直安装均可,建议介质流向与阀体标注方向一致

  • 安装要求:前后保留直管段(前≥5D、后≥3D),避免弯头、阀门直接靠近阀体,影响流场稳定

  • 接线接口:航空插头 / 端子排可选,支持电源、信号、通讯一体化接线,防松防脱落


六、典型应用场景|全覆盖

  • 实验室科研:气相色谱仪、微反应装置气体配比、催化剂测试供气控制

  • 半导体制程:晶圆腔体吹扫、微量载气控制、半导体设备工艺供气

  • 医疗与生物设备:呼吸机氧流量控制、麻醉机气体配比、医用制氧设备流量调节

  • 工业自动化:气体混合配比、检漏测试、燃烧过程控制、精密喷涂供气

  • 新能源行业:锂电池注液?;て刂?、燃料电池供气测试、氢能加注流量控制

  • 化工行业:弱腐蚀性气体微量控制、反应釜吹扫、尾气监测


七、选型指南|3 步精准匹配

  1. 确定气体介质标况单位(sccm/slm/NL/min)

  2. 确定流量控制范围(如 0~100sccm、0~5slm)与工作压力 / 温度

  3. 确定控制与信号方式(本地 / 远程控制、模拟量 / 数字量输出)及特殊工况需求(防腐 / 防爆)


八、质保与售后

  • 出厂前全流程标定与老化测试,确保性能稳定可靠

  • 质保期:2 年质保,非人为损坏故障免费维修 / 更换

  • 提供全程技术支持:选型咨询、接线指导、参数调试、现场技术支持

  • 可定制服务:量程定制、气体标定、接口定制、特殊工况适配(高压 / 防爆 / 防腐)

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