
产品分类
products category
相关文章
Related articles


微小流量控制型热式气体质量流量计
产品型号:
厂商性质:生产厂家
更新时间:2026-05-21
访 问 量:1193
立即咨询
联系电话:17701683668
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 测量原理 | 热式质量流量(MEMS 传感) |
| 控制方式 | PID 闭环控制 + 电动调节阀 |
| 测量精度 | ±1.0%FS |
| 控制精度 | ±1.5%FS |
| 重复性 | ±0.2%FS |
| 量程范围 | 0.01sccm ~ 1000NL/min(可定制微小 / 大量程) |
| 量程比 | 1:100(部分型号可达 1:200) |
| 介质温度 | -10~60℃(可扩展 - 20~120℃) |
| 工作压力 | ≤1.6MPa(可定制高压版) |
| 工作电源 | DC24V ±10% |
| 功耗 | ≤8W |
| 设定信号 | 0-5V / 0-10V / 4-20mA / RS485 数字信号 |
| 反馈信号 | 4-20mA / RS485 Modbus RTU |
| 通讯协议 | Modbus RTU(标准),支持自定义协议 |
| 机械接口 | G1/4、G1/2、NPT1/4、NPT1/2(可定制) |
| 阀体材质 | 不锈钢 304/316L(可选衬四氟防腐) |
| 防护等级 | IP65(可选防爆 Ex ia ⅡC T4 Ga) |
| 适用气体 | 空气、N?、O?、Ar、H?、He、CH?、CO?等清洁气体,腐蚀性气体可定制 |
| 预热时间 | 3~5 分钟 |
流量计与调节阀集成设计,省去单独选型、安装阀门的步骤,减少泄漏点
PID 闭环算法自动修正流量波动,即使上游压力波动,出口流量依然稳定
本地显示 + 按键调试,无需上位机即可设置目标流量、参数校准,现场调试效率更高
MEMS 微传感芯片,响应速度快、零点长期稳定,免频繁校准
直接测量质量流量,不受介质温度、压力波动影响,测量误差更小
超小量程覆盖,解决传统设备难以稳定测量的 sccm 级微量供气场景
不锈钢阀体 + 可选衬四氟防腐,适配弱腐蚀性气体(如氨气、硫化氢)
可选防爆外壳与本安设计,满足化工、石化等危险区域使用要求
支持高压定制,适配高压气瓶供气、高压反应釜吹扫等场景
标准螺纹接口,适配实验室、设备集成等多种安装场景
支持多台组网控制,通过 RS485 实现多通道气体配比自动化
关键部件采用进口电动调节阀芯,寿命长、维护成本低,支持故障自诊断
显示界面:主界面显示瞬时流量、累计流量、目标设定值;参数界面显示介质、单位、通讯参数等
按键功能:
设定键:修改目标流量值、切换控制模式(本地 / 远程)
菜单键:进入参数设置界面(量程、单位、PID 参数、通讯地址)
确认 / 退出键:保存设置或返回主界面
默认通讯参数:9600bps,8 数据位,无校验,1 停止位(Modbus RTU)
可配置项:设备地址、波特率、校验方式、流量单位(sccm/slm/NL/min)、标况温度、报警阈值
控制模式:
本地控制:通过面板按键直接设定目标流量,调节阀自动调节
远程控制:通过模拟量信号或 RS485 数字信号设定目标流量,实现上位机 / PLC 自动化控制
安装方式:水平 / 垂直安装均可,建议介质流向与阀体标注方向一致
安装要求:前后保留直管段(前≥5D、后≥3D),避免弯头、阀门直接靠近阀体,影响流场稳定
接线接口:航空插头 / 端子排可选,支持电源、信号、通讯一体化接线,防松防脱落
实验室科研:气相色谱仪、微反应装置气体配比、催化剂测试供气控制
半导体制程:晶圆腔体吹扫、微量载气控制、半导体设备工艺供气
医疗与生物设备:呼吸机氧流量控制、麻醉机气体配比、医用制氧设备流量调节
工业自动化:气体混合配比、检漏测试、燃烧过程控制、精密喷涂供气
新能源行业:锂电池注液?;て刂?、燃料电池供气测试、氢能加注流量控制
化工行业:弱腐蚀性气体微量控制、反应釜吹扫、尾气监测
确定气体介质与标况单位(sccm/slm/NL/min)
确定流量控制范围(如 0~100sccm、0~5slm)与工作压力 / 温度
确定控制与信号方式(本地 / 远程控制、模拟量 / 数字量输出)及特殊工况需求(防腐 / 防爆)
出厂前全流程标定与老化测试,确保性能稳定可靠
质保期:2 年质保,非人为损坏故障免费维修 / 更换
提供全程技术支持:选型咨询、接线指导、参数调试、现场技术支持
可定制服务:量程定制、气体标定、接口定制、特殊工况适配(高压 / 防爆 / 防腐)
返回列表