微小气体流量控制器  多钦仪表（上海）有限公司

一、核心亮点｜一眼看懂价值

二、产品概述

微小气体流量控制器（MFC）是一款集流量测量、PID 闭环控制、信号反馈于一体的智能设备，采用热式 MEMS 传感芯片与精密电磁阀，专为微小流量、清洁气体的精密控制场景设计。

设备无需温压补偿，即可实现质量流量的直接测量与稳定调节，广泛应用于半导体制程、实验室气相反应、医疗设备、精密仪器校准等场景，是替代传统浮子流量计 + 手动阀的升级方案。

三、技术参数｜详细明确

四、核心优势｜为什么选我们

1. 控制更稳更准

• 内置PID 智能调节算法，流量波动自动修正，稳定度更高

• MEMS 传感芯片，抗干扰能力强，零点长期稳定，免频繁校准

• 直接测量质量流量，不受介质温度、压力波动影响，控制误差更小

2. 操作与集成更灵活

• 自带 LCD 显示与按键，本地可设置目标流量、单位、通讯参数，无需上位机即可调试

• 模拟量 + 数字量双信号交互，兼容 PLC、DCS、上位机系统，支持单台控制与多台组网

• 支持多气体切换与标况单位（sccm、slm、NmL/min）自定义，适配不同场景需求

3. 适配更多复杂场景

• 超小量程覆盖，解决实验室微反应、半导体微量供气等传统设备难以控制的场景

• 阀体与控制模块一体化设计，体积小巧，适配设备集成、机柜安装等紧凑空间

• 支持定制防腐蚀阀体、防爆外壳、高压接口，满足特殊工况需求

4. 长期使用更省心

• 关键部件采用精密电磁阀与抗老化密封材料，使用寿命长，维护成本低

• 支持故障自诊断与报警反馈，异常流量、通讯故障可快速识别

• 全系列产品出厂前经过严格标定与老化测试，性能稳定可靠

五、功能与操作｜快速上手

1. 面板按键与显示

• 显示界面：实时显示当前流量值、设定值、单位、工作状态

• 按键功能：

• 设定键：修改目标流量值

• 菜单键：进入参数设置界面（量程、单位、通讯、PID 参数）

• 确认 / 退出键：保存设置或返回主界面

2. 通讯与控制配置

• 默认通讯参数：9600bps，8 数据位，无校验，1 停止位（Modbus RTU）

• 可配置项：设备地址、波特率、校验方式、流量单位、标况温度、报警阈值

• 控制模式：

• 本地控制：通过面板按键直接设定目标流量

• 远程控制：通过模拟量信号或 RS485 数字信号设定目标流量

3. 安装与接线说明

• 安装方式：水平 / 垂直安装均可，建议介质流向与阀体标注方向一致

• 接线接口：DB9 / 航空插头可选，支持电源、信号、通讯一体化接线

• 安装要求：前后保留直管段，避免阀门、弯头直接靠近阀体，影响流场稳定

六、典型应用场景｜全覆盖

• 半导体与电子制程：晶圆制程供气、腔体吹扫、微量载气控制

• 实验室科研：气相色谱仪、微反应装置、气体配比实验、催化剂测试

• 医疗与生物设备：呼吸机氧流量控制、麻醉机气体配比、医用气体检测

• 工业自动化：气体混合配比、检漏测试、燃烧过程控制、精密喷涂供气

• 新能源行业：锂电池注液?；て刂啤⑷剂系绯毓┢馐?/span>

• 航空航天：精密气路流量校准、泄漏检测、环境模拟试验

七、选型指南｜3 步精准匹配

1. 确定气体介质与标况单位（sccm/slm/NmL/min）

2. 确定流量控制范围（如 0~100sccm、0~5slm）

3. 确定控制与信号方式（本地 / 远程控制、模拟量 / 数字量输出）

八、质保与售后

• 出厂前全流程标定与老化测试，确保性能稳定

• 质保期：1 年质保，非人为损坏故障免费维修 / 更换

• 提供技术支持：选型咨询、接线指导、参数调试、现场技术支持

• 可定制服务：量程、气体、接口、通讯协议、特殊工况适配