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DN8高精密阀控气体质量流量计

DN8高精密阀控气体质量流量计是一款专为DN8 小口径管路微小气体流量设计的一体化测控设备。采用热式 MEMS 传感技术直接测量气体质量流量,无需温压补偿;配套高精度电磁阀与智能 PID 控制算法,实现流量的闭环调节,确保输出流量稳定在设定值。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2026-05-21
  • 访  问  量:1727
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产品详情

DN8高精密阀控气体质量流量计  多钦仪表(上海)有限公司选型推荐


专为微小气体流量的精密测量与闭环控制场景打造,集热式质量流量传感与高精度电磁阀控制于一体,实现高稳定性、高重复性的气体流量管理,是实验室、半导体制程、医疗设备的理想选择。


一、核心亮点|一眼看懂价值

? 阀控一体化设计:集成高精度电磁阀,自带 PID 闭环控制,无需额外阀门即可实现流量稳定调节
? 高精密测量:±0.5% FS 高精度,±0.1% FS 重复性,满足严苛的微小流量测控需求
? DN8 专用适配:专为 DN8 小口径管路优化,适配微小流量工况,无温漂、无压漂
? MEMS 热式传感:直接测量质量流量,无需温压补偿,零点长期稳定
? 本地显示 + 按键操作:LCD 屏实时显示流量与设定值,现场即可完成参数配置
? 多信号兼容:模拟量(4-20mA/0-5V)+RS485 Modbus 数字通讯,PLC / 上位机直连
? 标准工业接口:DN8 不锈钢内螺纹 / 卡套接口,安装便捷,适配多种管路
? 多气体标定:支持氮气、氧气、氩气、氢气、甲烷等多种介质,可定制标定


二、产品概述

DN8高精密阀控气体质量流量计是一款专为DN8 小口径管路微小气体流量设计的一体化测控设备。采用热式 MEMS 传感技术直接测量气体质量流量,无需温压补偿;配套高精度电磁阀与智能 PID 控制算法,实现流量的闭环调节,确保输出流量稳定在设定值。


设备广泛应用于实验室气相配比、半导体腔体吹扫、医疗设备气体控制、工业微量供气等场景,可替代传统 “流量计 + 手动阀" 的组合方案,大幅提升流量控制精度与自动化水平。


三、技术参数|精准可信

参数项规格说明
公称通径DN8
测量原理热式 MEMS 质量流量传感
控制方式PID 闭环控制 + 高精度电磁阀
测量精度±0.5%FS
控制精度±1.0%FS
重复性±0.1%FS
量程范围0.01sccm ~ 20slm(可定制微小 / 大量程)
量程比1:100
介质温度0~50℃(可扩展 - 10~80℃)
工作压力0.1~1.0MPa(可定制高压版)
工作电源DC24V ±10%
功耗≤5W
设定信号0-5V / 0-10V / 4-20mA / RS485 数字信号
反馈信号4-20mA / RS485 Modbus RTU
通讯协议Modbus RTU(标准)
机械接口DN8 不锈钢内螺纹 / 卡套接口(可定制)
阀体材质不锈钢 316L(可选防腐涂层)
防护等级IP40(可选 IP65)
适用气体空气、N?、O?、Ar、H?、He、CH?、CO?等清洁气体(腐蚀性气体可定制)
预热时间3~5 分钟


四、核心优势|为什么选我们

1. 高精度、高稳定性的微小流量控制

  • DN8 专用流道设计,优化流场分布,避免小口径管路常见的流场畸变问题

  • MEMS 传感芯片,响应速度快,零点长期稳定,免频繁校准

  • 内置智能 PID 算法,自动修正上游压力波动带来的流量偏差,控制精度可达 ±1.0% FS

2. 阀控一体化,集成度更高

  • 流量计与电磁阀集成设计,减少管路连接点,降低泄漏风险

  • 无需额外配置调节阀,一套设备即可完成 “测量 + 控制 + 反馈" 全流程

  • 体积小巧,适配设备集成、机柜安装等紧凑空间

3. 操作与调试更便捷

  • 自带 LCD 显示与按键,本地可查看瞬时 / 累计流量、设定目标值、配置通讯参数

  • 支持本地 / 远程双控制模式,现场调试与自动化控制灵活切换

  • 出厂前已完成气体标定,安装后无需额外校准,通电即可使用

4. 适配更多精密场景

  • 多气体标定服务,可根据用户实际使用气体进行出厂标定,确保测量精度

  • 支持 Modbus RTU 通讯,可与上位机 / PLC 组网,实现多通道气体配比自动化控制

  • 关键部件采用进口电磁阀芯,寿命长、响应快,适合长期稳定运行


五、功能与操作|快速上手

1. 面板按键与显示

  • 显示界面:主界面显示瞬时流量、设定值、单位;参数界面显示介质、通讯参数、PID 参数

  • 按键功能

    • 设定键:修改目标流量值、切换控制模式

    • 菜单键:进入参数设置界面(量程、单位、通讯地址、PID 参数)

    • 确认 / 退出键:保存设置或返回主界面

2. 通讯与控制配置

  • 默认通讯参数:9600bps,8 数据位,无校验,1 停止位(Modbus RTU)

  • 可配置项:设备地址、波特率、校验方式、流量单位(sccm/slm/NL/min)、标况温度、报警阈值

  • 控制模式:

    • 本地控制:通过面板按键直接设定目标流量,电磁阀自动调节

    • 远程控制:通过模拟量信号或 RS485 数字信号设定目标流量,实现自动化控制

3. 安装与接线说明

  • 安装方式:水平 / 垂直安装均可,介质流向需与阀体标注方向一致

  • 安装要求:前后保留直管段(前≥5D、后≥3D),避免弯头、阀门直接靠近阀体,影响流场稳定

  • 接线接口:DB9 航空插头,支持电源、信号、通讯一体化接线


六、典型应用场景|全覆盖

  • 实验室科研:气相色谱仪、微反应装置气体配比、催化剂测试供气控制

  • 半导体制程:晶圆腔体吹扫、微量载气控制、半导体设备工艺供气

  • 医疗与生物设备:呼吸机氧流量控制、麻醉机气体配比、医用制氧设备流量调节

  • 工业自动化:气体混合配比、检漏测试、燃烧过程控制、精密喷涂供气

  • 新能源行业:锂电池注液?;て刂?、燃料电池供气测试

  • 精密仪器校准:气体流量标准装置、检漏仪流量校准


七、选型指南|3 步精准匹配

  1. 确定气体介质标况单位(sccm/slm/NL/min)

  2. 确定流量控制范围工作压力 / 温度

  3. 确定控制与信号方式(本地 / 远程控制、模拟量 / 数字量输出)及特殊需求(防腐 / 高压)


八、质保与售后

  • 出厂前全流程标定与老化测试,确保性能稳定可靠

  • 质保期:2 年质保,非人为损坏故障免费维修 / 更换

  • 提供全程技术支持:选型咨询、接线指导、参数调试、现场技术支持

  • 可定制服务:量程定制、气体标定、接口定制、特殊工况适配

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