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微型气体质量流量计
产品型号:
厂商性质:生产厂家
更新时间:2026-05-25
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核心优势
HJUD 系列微型气体质量流量计是专为极微小流量、低流速工况开发的直通式热式气体质量流量计。采用高灵敏度 MEMS 热式传感 + 直通式无压损流道技术,无节流部件,可直接测量空气、氮气、氧气、氢气、氩气、二氧化碳等洁净气体的质量流量,不受介质温度、压力波动影响,无需额外温压补偿。
设备体积小巧,安装便捷,广泛应用于实验室气体配比、半导体工艺?;て⒁瞧魃璞复瞪ㄆ?、新能源氢能微小流量控制、医疗分析仪器气路等场景。
| 项目 | 规格参数 |
|---|---|
| 产品型号 | HJUD 系列 微小气体质量流量计 |
| 公称通径 | DN8(G1/8")、DN10(G1/4")、DN15(G3/8") |
| 测量介质 | 空气、氮气、氧气、氢气、氩气、二氧化碳等洁净干燥非腐蚀性气体 |
| 测量原理 | MEMS 热扩散式质量流量传感 + 直通式低阻流道 |
| 精度等级 | ±1.0% FS(标准);可选 ±0.5% FS 高精度版 |
| 重复性 | ≤±0.1%FS |
| 响应时间 | ≤50ms(可调 10ms~2s) |
| 流量范围(典型) | DN8:0.01~10L/min;DN10:0.01~25L/min;DN15:0.05~50L/min(可定制特殊量程) |
| 量程比 | 1:100(标准);可定制 1:500 宽量程 |
| 工作压力 | ≤1.6MPa(标准);可定制高压至 3.0MPa |
| 介质温度 | -20℃~+60℃(标准);可选 - 40℃~+120℃宽温版 |
| 结构形式 | 一体式直通结构 |
| 连接方式 | 内螺纹(G1/8"/G1/4"/G3/8");可选快插 / 卡套连接 |
| 本体材质 | 316L 不锈钢(标准);可选铝合金 |
| 供电电压 | DC 12~24V(±10%) |
| 输出信号 | 4-20mA 模拟量、RS485 Modbus-RTU、脉冲信号(可选) |
| 显示方式 | LCD 背光数显(瞬时流量、累积流量、介质温度、状态) |
| 操作方式 | 面板按键,支持现场参数设置 |
| 防护等级 | IP65 |
| 防爆等级 | Ex ia ⅡC T4 Ga(可选本安防爆认证) |
| 安装方式 | 水平 / 垂直安装,流向按壳体箭头标识 |
极微小流量精准计量:可稳定测量低至 0.01L/min 的气体流量,满足实验室配比、精密工艺微量控制需求
直通式无压损设计:流道无节流部件,压力损失极低,不干扰微小流量气路的正常运行
防堵免维护:直通式流道不易积灰、不易堵塞,维护周期长,大幅降低运维成本
温压免补偿:直接输出质量流量,温度、压力波动不影响精度,无需额外配置补偿设备
紧凑安装灵活:体积小巧,螺纹接口安装简单,适配设备内部、实验室、机柜内等狭小空间
工业级耐用性:无机械活动部件,抗冲击、抗腐蚀,长期运行稳定可靠
多场景通讯适配:支持 4-20mA、RS485 等多种信号输出,可直接接入 PLC/DCS 系统实现远程监控
实验室与科研:气体配比实验、微小流量标定、催化反应气路监测
半导体与电子:工艺?;て?、吹扫气微小流量精密计量
新能源行业:氢能燃料电池微小流量控制、氢气泄漏监测
工业自动化:设备?;て贰⑽⒘抗┢嗖?、仪器仪表气路流量检测
医疗与分析仪器:医用气体、分析仪器载气流量控制
流向与直管段:按壳体标注的流向箭头安装,上游保留≥5D、下游≥3D 直管段,确保流态稳定
介质预处理:气体需干燥、无油、无颗粒杂质,上游建议加装≤5μm 小型过滤器,保护传感元件
密封防漏:螺纹连接处采用生料带或密封胶,防止气体泄漏影响测量精度
电气接线:信号线采用屏蔽电缆,远离变频器、大功率电机等强电磁干扰源,单独可靠接地
参数设置:根据实际介质与工况,现场设置流量单位、量程、报警阈值,确保测量与控制精度
整机质保 2 年,出厂经过实流标定测试,附产品合格证书与校准报告
提供技术选型、安装指导、参数调试、工况适配方案支持
可根据需求定制特殊量程、高压版、防爆版、不锈钢材质等非标规格
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